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柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的研究

发布时间:2021-11-29浏览次数:载入中...
目前柔性透明导电薄膜沉积技术由于其超薄、可弯折的特性已经在触摸屏行业广泛推广,柔性透明导电膜主要是通过卷绕镀膜设备镀制,柔性透明导电薄膜基材都是PET等柔性材料。现在电子产品对轻、薄的要求越来越高,这就增加了卷对卷生产中比较薄的PET(23 ?m厚度以下)平整度控制难度,故设计出一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制的装置。

真空卷绕磁控溅射技术特点 :①沉积速度快、基材温升低、对膜层的损伤小;②溅射所获得的薄膜与基片结合较好;③溅射所获得的薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好;④溅射工艺可重复性好,可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜等。其工艺流程见图1。



图1 柔性导电膜生产工艺流程

从工艺生产流程可以看出,薄膜材料镀膜是采用卷对卷的方式,生产时是连续生产完一卷后才会生产下一卷,每卷在中间生产出现问题时无法进行在线处理,这样就造成了整卷的浪费,因此特别是很薄的薄膜生产时,中间产生褶皱时在收卷的时候由于张力的影响会对后面没有产生褶皱的产品产生杠印,对生产品质和良率造成影响。因此需要进一步改进设计工艺。

卷绕镀膜设备中薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊(以下简称“香蕉辊”,可以看成是香蕉那种形状)及其控制系统。该装置是装在卷绕镀膜设备工艺室镀膜鼓前面。卷绕镀膜设备主要由放卷室、工艺室、收卷室组成,放卷室包含放卷装置、传动辊;工艺室包含镀膜鼓、磁控溅射阴极系统、传动辊、平整度调节辊;收卷室包含收卷装置、传动辊。安装位置示意图如图2所示。




图2 卷绕镀膜设备中的传送辊安装位置示意图



图3 展平辊工作示意图

由上图可以看出,原膜经过平整度调节辊后再经过镀膜鼓和磁控溅射阴极系统,这样就保证镀膜时原膜是经过平整度调节辊调整后再进行镀膜的,因此保证了镀膜时的良品率;原膜在离开镀膜鼓时是经过平整度调节辊后再到收卷装置,这样就保证了收卷整齐、平整。使用平整度在线控制装置前后良率及其他数据对比见表1。

表1  使用平整度在线控制装置前后良率及其他参数对比



柔性卷绕镀膜采用平整度在线控制装置可以直接在线实时对角度的控制,保证镀膜时膜面平整、收卷整齐、平整;特别是针对PET基材厚度小于50 ?m的薄膜进行使用时,能大大地降低产品褶皱的产生,提高产品的良品率,目前已经在产线进行实际使用。
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